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철도차량용
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에어시스템의 수평을 자동으로 ±100μm이내 제어
에어시스템의 정지시간(Settling Time) 1.0sec이내 제어 가능
급배기 오리피스를 양방향 적용으로 급배기 최대유량 6.0liter/sec 이상으로 에어시스템의 적용 범위가 넓음
연결 부위에 초소형 베어링 적용으로 불감영역 최소화
레벨 핀(Level Pin)과 레벨 바(Level Bar)의 최적화로 상승 높이를 최대화
• 레벨링 밸브• 레벨 바
• 레벨 핀• 원터치 피팅
• 지지대
반도체, LCD, OLED, PCD의 제조 및 측정 장비와 같은 고속 X-Y 스테이지의 운동에 따른 지지 에어시스템의 정지시간(Settling Time) 최소화, 진동 감소 및 수평 유지
초정밀 광학장비의 고효을 제진 및 에어시스템의 수평 유지
하중의 불평형이 큰 산업용 설비의 고효율 방진을 요하는 에어시스템의 수평유지
컨베이어 및 자동화 시스템의 하중 변화에 따른 에어시스템의 수평(일정 높이) 유지
Model
반복정밀도
(μm)
정지시간
(sec)
급배기량
(ℓ/sec)
최대 상승 높이
(mm)
Dimension (mm)
Weight
(kgf)
L1
L2
W1
W2
H
d
ATLV-100
정밀형
±100
1.0~1.5
6.0
14
45
30
35
15
95
Ø5.6
0.5
ATLV-250
(일반형)
±250
1.0~2.5
3.6
8
32
20
22
8
63
Ø5.5
0.15
Note.
1. 에어시스템에 임의의 반복하중을 가한 후 시스템 높이 정확도를 반복정밀도(Repeatability)라고 하며, 시스템의 안정화 시간
   (초기 변위의 90% 감소 시간 혹은 20μm까지 감소 시간)을 정지시간(Settling Time)이라 정의
2. 에어공급원의 공급 압력(0.5MPa)과 에어 시스템 압력(0.3MPa)의 조건상태에 따라 급배기되는 유량을 급배기량이라 정의
3. 에어시스템의 셋팅 높이에서 공기의 공급이 차단되어 완전 배기 시 본 제품의 손상이 가해지지 않을 상승 높이를 최대 상승 높이라 정의
   (에어시스템의 셋팅 높이를 최대 상승 높이 이상 적용 시에는 반드시 별도의 스토퍼 장치 설치)
X–Y 스테이지의 운동 특성에 따른 자동 레벨링 밸브를 장착한 에어시스템에 대한 진동 전달율 및 정지 시간(Settling Time)의 시뮬레이션 결과
당사 자동 레벨링 밸브는 에어시스템의 종류 및 요구 성능에 따른 시뮬레이션을 통해서 적정 모델 적용
자동 레벨링 밸브는 에어시스템에 견고하게 고정되어야 하고, 밸브 핀과 접촉하는 면은 평평하고 미러 하여야 함
자동 레벨링 밸브의 상하 운동시에 간섭이나 접촉이 없이 자유롭게 운동할 수 있어야 함
자동 레벨링 밸브에 공급하는 기체는 건조 공기(Dry Air), 질소 등 깨끗한 압축기체의 사용을 권장하며, 압축기체 내의 이물질, 습기 등으로 인하여 밸브의 정밀도가 떨어질 수 있음
에어시스템의 최대상승높이 이내로 스토퍼를 반드시 설치하여야 하며, 미 설치시 자동 레벨링 밸브가 손상될 수 있음
자동 레벨링 밸브의 종류, 설치 위치 및 수량에 따라 전체 에어시스템의 반복정밀도(Repeatability)와 정지시간(Settling Time)에 영향이 있으므로 당사 기술관계자와 협의 필요