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| • | | 에어시스템의 수평을 자동으로 ±100μm이내 제어 |
| • | | 에어시스템의 정지시간(Settling Time) 1.0sec이내 제어 가능 |
| • | | 급배기 오리피스를 양방향 적용으로 급배기 최대유량 6.0liter/sec 이상으로 에어시스템의 적용 범위가 넓음 |
| • | | 연결 부위에 초소형 베어링 적용으로 불감영역 최소화 |
| • | | 레벨 핀(Level Pin)과 레벨 바(Level Bar)의 최적화로 상승 높이를 최대화 |
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| • 레벨링 밸브 | • 레벨 바 |
| • 레벨 핀 | • 원터치 피팅 |
| • 지지대 | |
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| • | | 반도체, LCD, OLED, PCD의 제조 및 측정 장비와 같은 고속 X-Y 스테이지의 운동에 따른 지지 에어시스템의 정지시간(Settling Time) 최소화, 진동 감소 및 수평 유지 |
| • | | 초정밀 광학장비의 고효을 제진 및 에어시스템의 수평 유지 |
| • | | 하중의 불평형이 큰 산업용 설비의 고효율 방진을 요하는 에어시스템의 수평유지 |
| • | | 컨베이어 및 자동화 시스템의 하중 변화에 따른 에어시스템의 수평(일정 높이) 유지 |
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Model |
반복정밀도
(μm) |
정지시간
(sec) |
급배기량
(ℓ/sec) |
최대 상승 높이
(mm) |
Dimension (mm) |
Weight
(kgf) |
L1 |
L2 |
W1 |
W2 |
H |
d |
ATLV-100
정밀형 |
±100 |
1.0~1.5 |
6.0 |
14 |
45 |
30 |
35 |
15 |
95 |
Ø5.6 |
0.5 |
ATLV-250
(일반형) |
±250 |
1.0~2.5 |
3.6 |
8 |
32 |
20 |
22 |
8 |
63 |
Ø5.5 |
0.15 |
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Note. |
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1. 에어시스템에 임의의 반복하중을 가한 후 시스템 높이 정확도를 반복정밀도(Repeatability)라고 하며, 시스템의 안정화 시간
(초기 변위의 90% 감소 시간 혹은 20μm까지 감소 시간)을 정지시간(Settling Time)이라 정의 |
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2. 에어공급원의 공급 압력(0.5MPa)과 에어 시스템 압력(0.3MPa)의 조건상태에 따라 급배기되는 유량을 급배기량이라 정의 |
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3. 에어시스템의 셋팅 높이에서 공기의 공급이 차단되어 완전 배기 시 본 제품의 손상이 가해지지 않을 상승 높이를
최대 상승 높이라 정의
(에어시스템의 셋팅 높이를 최대 상승 높이 이상 적용 시에는 반드시 별도의 스토퍼 장치 설치) |
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X–Y 스테이지의 운동 특성에 따른 자동 레벨링 밸브를 장착한 에어시스템에 대한 진동 전달율 및 정지 시간(Settling Time)의 시뮬레이션 결과 |
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당사 자동 레벨링 밸브는 에어시스템의 종류 및 요구 성능에 따른 시뮬레이션을 통해서 적정 모델 적용 |
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| • |
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자동 레벨링 밸브는 에어시스템에 견고하게 고정되어야 하고, 밸브 핀과 접촉하는 면은 평평하고 미러 하여야 함 |
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자동 레벨링 밸브의 상하 운동시에 간섭이나 접촉이 없이 자유롭게 운동할 수 있어야 함 |
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자동 레벨링 밸브에 공급하는 기체는 건조 공기(Dry Air), 질소 등 깨끗한 압축기체의 사용을 권장하며, 압축기체 내의 이물질, 습기 등으로 인하여 밸브의 정밀도가 떨어질 수 있음 |
| • |
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에어시스템의 최대상승높이 이내로 스토퍼를 반드시 설치하여야 하며, 미 설치시 자동 레벨링 밸브가 손상될 수 있음 |
| • |
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자동 레벨링 밸브의 종류, 설치 위치 및 수량에 따라 전체 에어시스템의 반복정밀도(Repeatability)와 정지시간(Settling Time)에 영향이 있으므로 당사 기술관계자와 협의 필요 |
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