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반도체, LCD, OLED, PCD의 고속 X-Y 스테이지의 운동에 따른 정지시간(Settling Time) 최소화
Vertical/Horizontal의 고유진동수 2~3Hz로 방진 성능 우수
Leveling Valve를 적용하여 ±100μm이내 자동수평조절 가능
저속과 고속 X-Y Stage의 제진 성능 우수
• 다이아프램• 레벨링 밸브
• 상부 플레이트• 하부 플레이트
• 스토퍼
정밀 측정장비 : 전자현미경, 광학현미경, 삼차원측정기, 조도계, 경도계 등
반도체 제조장비 : Assembly & FAB Equipment
검사장비 : LCD, 반도체, PCB, Film
정밀 가공장비 : 레이저, Jig Boring Machine, CNC Grinding Machine
자동차 부품관련 시험장비
Model
Load
(kgf)
Pressure
(kgf/㎠)
Displacement
(mm)
Natural
Frequency
(Hz)
Damping Ratio
Dimension (mm)
Weight
(kgf)
D1
L1
L2
W1
W2
H
d
ATD-65
30~130
1~4
±4
2.2~2.5
0.05~0.1
Orifice
Damping
Ø117
-
-
-
-
85
-
14
ATD-110
100~400
-
200
180
200
180
170
Ø10
14
ATDD-150
500~850
3~5
±4
2.0~3.0
0.1~0.3
Oil
Damping
-
240
210
240
210
170
Ø10
22
ATDD-190
850~1,400
-
270
230
270
230
190
Ø14
38
ATDD-220
1,100~1,800
-
290
260
290
260
190
Ø14
46
ATDD-245
1,400~2,300
-
320
290
320
290
190
Ø14
53
ATDD-270
1,600~2,800
-
370
340
370
340
190
Ø18
57
ATDD-320
2,400~4,000
-
390
360
390
360
190
Ø18
68
ATDD-360
3,000~5,000
-
440
410
440
410
190
Ø18
85
ATDD-420
4,000~6,800
-
520
490
520
490
190
Ø18
90
ATDD-460
5,000~8,000
-
560
530
560
530
190
Ø18
95
반도체, LCD, OLED, PCD의 고속 X-Y 스테이지의 운동에 따른 정지시간(Settling Time) 최소화
Vertical/Horizontal의 고유진동수 1.2~1.5Hz로 방진 성능 우수
Leveling Valve를 적용하여 ±100μm이내 자동수평조절 가능
특수한 수평 제진 기구를 사용하여 수직 및 수평 방향 고성능 제진 가능
내부 오리피스 및 외부 가변 오리피스를 이용해 제진 및 댐핑 설정 가능
오일 댐퍼(ADVG)를 추가한 경우 X-Y Stage 이동시 동적 변위 및 정지시간(Settling Time) 최소화
• 다이아프램• 레벨링 밸브
• 상부 플레이트• 하부 플레이트
• 스토퍼
정밀 측정장비 : 전자현미경, 광학현미경, 삼차원측정기, 조도계, 경도계 등
반도체 제조장비 : Assembly & FAB Equipment
검사장비 : LCD, 반도체, PCB, Film
정밀 가공장비 : 레이저, Jig Boring Machine, CNC Grinding Machine
자동차 부품관련 시험장비
Model
Load
(kgf)
Pressure
(kgf/㎠)
Displacement
(mm)
Natural
Frequency
(Hz)
Damping Ratio
Dimension (mm)
Weight
(kgf)
L1
L2
W1
W2
H
d
ATDG-125
300~600
3~5
±4
1.2~1.5
0.05~0.1
Orifice
Damping
210
195
210
195
185
Ø14
15
ATDG-180
600~1,200
280
250
280
250
185
Ø14
30
ATDG-220
1,100~1,800
320
290
320
290
185
Ø18
45
ATDG-250
1,500~2,300
350
320
350
320
185
Ø18
55
ATDG-310
2,200~3,700
430
400
430
400
185
Ø18
90
ADVG
300~3,700
-
±4
-
0.1~0.3
Oil
Damping
216
125
216
185
185
Ø15
14