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| • | | 반도체, LCD, OLED, PCD의 고속 X-Y 스테이지의 운동에 따른 정지시간(Settling Time) 최소화 |
| • | | Vertical/Horizontal의 고유진동수 2~3Hz로 방진 성능 우수 |
| • | | Leveling Valve를 적용하여 ±100μm이내 자동수평조절 가능 |
| • | | 저속과 고속 X-Y Stage의 제진 성능 우수 |
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| • 다이아프램 | • 레벨링 밸브 |
| • 상부 플레이트 | • 하부 플레이트 |
| • 스토퍼 | |
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| • | | 정밀 측정장비 : 전자현미경, 광학현미경, 삼차원측정기, 조도계, 경도계 등 |
| • | | 반도체 제조장비 : Assembly & FAB Equipment |
| • | | 검사장비 : LCD, 반도체, PCB, Film |
| • | | 정밀 가공장비 : 레이저, Jig Boring Machine, CNC Grinding Machine |
| • | | 자동차 부품관련 시험장비 |
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Model |
Load
(kgf) |
Pressure
(kgf/㎠) |
Displacement
(mm) |
Natural
Frequency
(Hz) |
Damping Ratio |
Dimension (mm) |
Weight
(kgf) |
D1 |
L1 |
L2 |
W1 |
W2 |
H |
d |
ATD-65 |
30~130 |
1~4 |
±4 |
2.2~2.5 |
0.05~0.1
Orifice
Damping |
Ø117 |
- |
- |
- |
- |
85 |
- |
14 |
ATD-110 |
100~400 |
- |
200 |
180 |
200 |
180 |
170 |
Ø10 |
14 |
ATDD-150 |
500~850 |
3~5 |
±4 |
2.0~3.0 |
0.1~0.3
Oil
Damping |
- |
240 |
210 |
240 |
210 |
170 |
Ø10 |
22 |
ATDD-190 |
850~1,400 |
- |
270 |
230 |
270 |
230 |
190 |
Ø14 |
38 |
ATDD-220 |
1,100~1,800 |
- |
290 |
260 |
290 |
260 |
190 |
Ø14 |
46 |
ATDD-245 |
1,400~2,300 |
- |
320 |
290 |
320 |
290 |
190 |
Ø14 |
53 |
ATDD-270 |
1,600~2,800 |
- |
370 |
340 |
370 |
340 |
190 |
Ø18 |
57 |
ATDD-320 |
2,400~4,000 |
- |
390 |
360 |
390 |
360 |
190 |
Ø18 |
68 |
ATDD-360 |
3,000~5,000 |
- |
440 |
410 |
440 |
410 |
190 |
Ø18 |
85 |
ATDD-420 |
4,000~6,800 |
- |
520 |
490 |
520 |
490 |
190 |
Ø18 |
90 |
ATDD-460 |
5,000~8,000 |
- |
560 |
530 |
560 |
530 |
190 |
Ø18 |
95 |
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| • | | 반도체, LCD, OLED, PCD의 고속 X-Y 스테이지의 운동에 따른 정지시간(Settling Time) 최소화 |
| • | | Vertical/Horizontal의 고유진동수 1.2~1.5Hz로 방진 성능 우수 |
| • | | Leveling Valve를 적용하여 ±100μm이내 자동수평조절 가능 |
| • | | 특수한 수평 제진 기구를 사용하여 수직 및 수평 방향 고성능 제진 가능 |
| • | | 내부 오리피스 및 외부 가변 오리피스를 이용해 제진 및 댐핑 설정 가능 |
| • | | 오일 댐퍼(ADVG)를 추가한 경우 X-Y Stage 이동시 동적 변위 및 정지시간(Settling Time) 최소화 |
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| • 다이아프램 | • 레벨링 밸브 |
| • 상부 플레이트 | • 하부 플레이트 |
| • 스토퍼 | |
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| • | | 정밀 측정장비 : 전자현미경, 광학현미경, 삼차원측정기, 조도계, 경도계 등 |
| • | | 반도체 제조장비 : Assembly & FAB Equipment |
| • | | 검사장비 : LCD, 반도체, PCB, Film |
| • | | 정밀 가공장비 : 레이저, Jig Boring Machine, CNC Grinding Machine |
| • | | 자동차 부품관련 시험장비 |
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Model |
Load
(kgf) |
Pressure
(kgf/㎠) |
Displacement
(mm) |
Natural
Frequency
(Hz) |
Damping Ratio |
Dimension (mm) |
Weight
(kgf) |
L1 |
L2 |
W1 |
W2 |
H |
d |
ATDG-125 |
300~600 |
3~5 |
±4 |
1.2~1.5 |
0.05~0.1
Orifice
Damping |
210 |
195 |
210 |
195 |
185 |
Ø14 |
15 |
ATDG-180 |
600~1,200 |
280 |
250 |
280 |
250 |
185 |
Ø14 |
30 |
ATDG-220 |
1,100~1,800 |
320 |
290 |
320 |
290 |
185 |
Ø18 |
45 |
ATDG-250 |
1,500~2,300 |
350 |
320 |
350 |
320 |
185 |
Ø18 |
55 |
ATDG-310 |
2,200~3,700 |
430 |
400 |
430 |
400 |
185 |
Ø18 |
90 |
ADVG |
300~3,700 |
- |
±4 |
- |
0.1~0.3
Oil
Damping |
216 |
125 |
216 |
185 |
185 |
Ø15 |
14 |
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