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• | | 반도체 제조장비, 검사장비, 정밀 측정장비 등은 진동에 민감하게 반응하므로 별도의 분리된 기초를 마련하여 장비를 설치 |
• | | Membrane Air Spring을 적용하여 고효율 방진 가능 |
• | | Leveling Valve를 적용하여 ±100μm이내 자동수평조절 가능 |
• | | Caster와 Levelfoot을 제공하여 이동이 용이하며 지지대의 높이와 수평조절이 가능 |
• | | 표준형과 고객의 요구 사항에 맞도록 설계 제작 가능 |
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• 멤브레인 에어스프링 | • 레벨링 밸브 |
• 서포트 | • 프레임 |
• 레벨 풋 | • 캐스터 |
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• | | 정밀 측정장비 : 전자현미경, 광학현미경, 삼차원측정기, 조도계, 경도계 등 |
• | | 반도체 제조장비 : Assembly & FAB Equipment |
• | | 검사장비 : LCD, 반도체, PCB, Film |
• | | 정밀 가공장비 : 레이저, Jig Boring Machine, CNC Grinding Machine |
• | | 자동차 부품관련 시험장비 |
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